EcoPro HN在27日通过公告表示，已与三星E&A签署了RCS供应合同。RCS（再生催化系统）是处理半导体工艺中产生的全氟化合物（PFCs）的高容量温室气体减排系统。
PFCs的全球变暖潜力（GWP）是二氧化碳的数千到数万倍，因此被认为是半导体制造现场必须解决的核心环境问题。
EcoPro HN凭借催化剂基础的温室气体减排技术，在RCS领域获得了技术认可。传统的热解处理系统需要1300至1400度的超高温工艺来减少温室气体，而EcoPro HN的RCS则可以在约750至800度的温度下分解温室气体，从而减少约95%的能源使用。
EcoPro HN计划根据国内半导体公司全球生产基地投资扩张的趋势，向包括北美在内的海外半导体企业多元化客户群，扩大全球业务版图。
此外，EcoPro HN是国内唯一一家从事大气污染防治、温室气体减排以及二次电池·半导体材料业务的环保综合解决方案企业。该公司于1998年从EcoPro环境事业部起步，并于2021年通过人事分割成立。
※ 本报道经人工智能（AI）系统翻译与编辑。
