据消防部门和SK海力士等消息，10日下午3时58分，青州SK海力士4号校园内，两名工人在搬运设备时接触到疑似有毒化学物质四甲基氢氧化铵（TMAH）的液体，随后被送往医院。送医时未见异常症状。
TMAH是一种在半导体和显示器制造过程中广泛用于硅晶圆清洗和显影工序的强碱性化学物质。接触皮肤、眼睛或呼吸道时可能导致严重损伤，甚至因简单的皮肤接触而致命。
相关部门推测，工人在搬运设备时可能发生了TMAH泄漏，已展开应对措施，但初步成分检测结果未发现有毒物质。相关部门表示，可能是在设备清洗后未完全干燥的情况下搬运，导致TMAH与水混合后滴落，正在对此进行详细调查。
近期，SK海力士青州工厂接连发生多起事故。1日，M15工厂与M15X工厂之间的6层气体室发生火灾，导致少量氟气泄漏。此外，27日，M11工厂内的半导体加工设备发生火花，员工被迫疏散约1小时；1月19日，5名工人在工厂进行管道作业时接触到从上部管道掉落的化学物质磷酸。
※ 本报道经人工智能（AI）系统翻译与编辑。
